主な論文

基本情報

氏名 桂 尚樹
氏名(カナ) カツラ ナオキ
氏名(英語) Naoki Katsura
所属 大学 健康メディカル学部 医療科学科 臨床工学コース
職名 講師
researchmap研究者コード
researchmap機関

題名

PZT Thick Films Deposited by Improved Hydrothermal Method for Thickness Mode Ultrasonic Transducer (水熱合成法によって によって改良されたPZT積層薄膜

単著・共著の別

共著

概要

研究目的は、チタン基板上のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)厚膜を水熱法を用いて堆積速度を改善することであった。我々は、オートクレーブ内で約0.8m/sの速度で高速回転ホルダーを開発した。チタン基材をホルダーによって撹拌棒の表面上に固定した。成膜には液体TiCl4の代わりにTiO2の粉末を用いた。チタン基板上の堆積速度は7μm/24hまで改善された。水熱PZT膜の圧電定数d31は-

発表雑誌等の名称

Materials Research Society Fall Meeting C

発行又は発表の年月

200311