水熱合成PZT薄膜を用いた超音波センサの水中における性能評価

水熱合成法によるPZT薄膜を応用した、振動子、超音波モータ、加振形接触センサ 、音叉形振動子、補聴器用イヤホン、が試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。

超音波Techno;巻：15号：6　pp.112-116