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Basic information

Name Naoki Katsura
Belonging department Medical Engineering Course,Department of Medical Course,Faculty of Health and Medical Science
Occupation name Lecturer
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Title

PZT Thick Films Deposited by Improved Hydrothermal Method for Thickness Mode Ultrasonic Transducer (水熱合成法によって によって改良されたPZT積層薄膜

Bibliography Type

Joint Author

Summary

2.6・10 -11V/mであった。この結果は、PZTセラミックスのそれよりも低かった。しかし、この水熱法では厚膜が得られ、この膜はXRDとSEMの分析より、多結晶PZTであることが確認された。さらに、水熱合成法によるPZTの膜厚50μmの振動性能を水中で測定することによって調べた。水熱PZT膜の膜厚振動の膨張波の位相速度は1800m/sであり、電気機械結合係数は47%であった

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Date of Issue

200311