Development of water immerse type ultrasound probe with PZT film deposited by hydrothermal method.
（水熱合成法で成膜させたPZT膜を持つ水中超音波プローブの開発）

バイモルフ振動子、マイクロ超音波モータ、加振形接触センサ等の水熱合成法によるPZT薄膜を応用したセンサが試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更にハイドロフォントしての応用も考えている。

Proc IEEE International Ultrason Symp　Vol.2　pp.1300-1305