水熱合成法により成膜したPZT結晶膜を用いた超音波センサの水中における受波感度

本研究では、超音波診断装置の核となるセンサの圧電部の小型化、特殊形状化に注目した。水熱合成法による圧電素子が実用化できれば、水熱合成法の特徴を活かした医用超音波センサや、アクチュエータの提案が可能になり、計測機器、治療機器の小型化や更なる機能の向上へ繋がると期待する。

桐蔭横浜大学大学院