Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection (査読付)
シリコン ナノワイヤ (SiNW) バイオセンサーは、その優れた感度により多くの注目を集めている。生体分子の検出感度のナノワイヤ (NW) の幅、数、およびドーピング密度への依存性が部分的に研究されている。本研究では、相補型金属酸化物半導体プロセスと電子ビームリソグラフィーを統合することにより、さまざまな幅のSiNWバイオセンサーを製造した。
ACS Applied Materials & Interfaces