PZT Thick Films Deposited by Improved Hydrothermal Method for Thickness Mode Ultrasonic Transducer
（水熱合成法によって　によって改良されたPZT積層薄膜　超音波トランスデューサ）

研究目的は、チタン基板上のチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）厚膜を水熱法を用いて堆積速度を改善する事であった。オートクレーブ内で0.8m/sの速度で高速回転ホルダーを開発した。チタン材をホルダーによって撹拌棒の表面上に固定した。成膜には液体TiCl4の代わりにTiO2の粉末を用いた。チタン基板上の堆積速度は7μm/24hまで改善された。水熱PZT膜圧電定数d31は-2.6・10 -11V/mであった。

超音波Techno　巻：15号：6
pp.112-116