水熱合成法により成膜したPZT結晶膜を用いた超音波センサの水中における受波感度

水熱合成法によるPZT薄膜を応用した、振動子、超音波モータ、加振形接触センサ、音叉形振動子、補聴器イヤホンが試作されている。当研究室では、水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究でこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作センサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。

日本音響学会 講演論文集
2003(2)
pp.1077-1078