酸化チタンを用いた水熱合成法によるPZT膜の作製と振動特性に関する検討

超音波エレクトロ
ニクスの基礎と応用に
関するシンポジウム
講演予稿集 巻：24th
pp.155-156

水熱合成法によるPZT薄膜を応用した、バイモルフ振動子、マイクロ超音波モータ、加振形接触センサ 、音叉形振動子、補聴器用イヤホン、が試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。
共著者：桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、黒澤 実