水熱合成法により成膜したPZT圧電膜を用いた超音波センサの水中における受波感度

超音波エレクトロ ニクスの基礎と応用 に関するシンポジウム

加振形接触センサ 、バイモルフ振動子、マイクロ超音波モータ、音叉形振動子、補聴器用イヤホン等に水熱合成法を用いたPZT薄膜を応用したセンサが試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。



共著者：桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、