その他の研究業績等

基本情報

氏名 桂 尚樹
氏名(カナ) カツラ ナオキ
氏名(英語) Naoki Katsura
所属 大学 健康メディカル学部 医療科学科 臨床工学コース
職名 講師
researchmap研究者コード
researchmap機関

タイトル・テーマ

水熱合成法により作成したPZT圧電多結晶膜超音波センサの水中における受波感度の評価

単著・共著の別

共著

発行又は発表の年月

200310

発表学会等の名称

神奈川県産学公交流 研究発表会

概要

現在、医用アレイ超音波プローブには、主に圧電 セラミックスや高分子圧電フィルムが用いられてい る。しかし、圧電セラミックス振動子は、硬脆材料 のため、微細なアレイ型高周波プローブの作製が困難である。また、高分子圧電フィルムは、可撓性があり壊れにくいが、送波感度が低いなどの問題がある。一方、我々は、水熱合成法を用いて、チタン基板上にPZT圧電多結晶膜を成膜する研究を行っている。この水熱合成法は、チタンに対して選択的にPZT等のペロブスカイト型強誘電体の多結晶膜を形成することが可能であり、微細な振動子の作製に