酸化チタンを用いた水熱合成法によるPZT薄膜に関する基礎検討

日本音響学会
研究発表会
講演論文集
巻：2003号：春季2
pp.1191-1192

水熱合成法によるPZT薄膜を応用した、振動子、超音波モータ、接触センサ 、音叉形振動子、補聴器用イヤホン、が試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT圧電膜を用いて、超音波センサの開発を行った。試作センサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。
共著者：桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、黒澤 実
担当部分：研究・調査、データ分析及び、全文執筆