その他の研究業績等

基本情報

氏名 桂 尚樹
氏名(カナ) カツラ ナオキ
氏名(英語) Naoki Katsura
所属 健康メディカル学部 医療科学科 臨床工学コース
職名 講師
researchmap研究者コード
researchmap機関

タイトル・テーマ

水熱合成PZT薄膜を用いた振動子の水中における性能評価

単著・共著の別

共著

発行又は発表の年月

200303

発表学会等の名称

日本音響学会 研究発表会

概要

水熱合成法を用いて高い圧電定数を期待できるPZT圧電多結晶膜を成膜し、数MHz~数百MHzに共振を持つ超音波センサを実現することを目的としている。従来、水熱合成法では困難とされていた膜厚の異なる共振周波数が数MHzの4種類の超音波センサを水熱合成法により試作して、水中における受信波形の確認と受波感度の周波数特性の測定を行ったので報告する。


共著者:桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、黒澤 実
(講演論文集 巻:2003号:春季2 pp.1233-1234)