超小型超音波センサ,生体内埋め込み型センサを目的とした水熱法によるPZT薄膜の作製に関する基礎検討

超音波エレクトロ ニクスの基礎と応用 に関するシンポジウム

音叉形振動子、補聴器用イヤホン、バイモルフ振動子、マイクロ超音波モータ、加振形接触センサ等に水熱合成法を用いたPZT薄膜を応用したセンサが試作されている。水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。
共著者：桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、黒澤 実
担当部分：研究・調査、データ分析及び、全文執筆