水熱法によるPZT薄膜の作製―成膜条件と結晶成長および振動速度の関係

超音波エレクトロ ニクスの基礎と応用 に関するシンポジウム

水熱合成法によるPZT薄膜を応用した、バイモルフ振動子、微小超音波モータ、加振形接触センサ 、音叉形振動子、補聴器用イヤホン、が試作されている。本研究では、水熱合成法の合成最適条件の検討を行っており、本研究ではこの水熱合成法によるPZT結晶膜を用いて、水中超音波センサの開発を行った。試作したセンサを用いて振動速度の計測と、PZT結晶膜生成時における、最適条件の検討を行った。将来的には、水中における受波感度の測定と圧電膜の特性評価を行うことを目的としている。更に、ハイドロフォントしての応用も考えている。
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