水熱合成法による細経ワイヤおよび光ファイバへのPZT膜形成の基礎検討

材料技術研究協会討論会

医用アレイ超音波プローブには、主に圧電セラミックスや高分子圧電フィルムが用いられている。しかし、圧電セラミックス振動子は、硬脆材料のため、微細な小型高周波プローブ作製が困難である。高分子圧電フィルムは、可撓性があり壊れにくいが、送波感度が低いなどの問題がある。一方、我々は、水熱合成法を用いて、チタン基板上にPZT圧電多結晶膜を成膜する研究を行っている。この水熱合成法は、チタンに対して選択的に PZT等の強誘電体の多結晶膜を形成することが可能であり、微細な振動子の作製にも最適な方法であると考えている。そこで本研究では、水熱合成法により得られる圧電多結晶膜の特長を利用して、50μm以下の小型アレイ超音波プローブを作製し、このプローブで受信した超音波パルス波形の評価を行った。
共著者：鈴木崇洋、 桂尚樹、佐藤敏夫、川島徳道、竹内真一、石河睦生
担当部分：共同研究につき抽出不可