水熱合成PZT薄膜を用いた振動子の水中における性能評価

超音波エレクトロ
ニクスの基礎と応用
に関するシンポジウム
講演予稿集
巻：23rd pp.19-20

水熱合成法を用いて高い圧電定数を期待できるPZT圧電多結晶膜を成膜し、数MHz～数百MHzに共振を持つ超音波センサを実現することを目的としている。従来、水熱合成法では困難とされていた膜厚の異なる共振周波数が数MHzの４種類の超音波センサを水熱合成法により試作して、水中における受信波形の確認と受波感度の周波数特性の測定を行ったので報告する。
共著者：桂 尚樹、佐藤 敏夫、川島 徳道、竹内 真一、石河 睦生、黒澤 実
（講演論文集 巻：2003号：春季2 pp.1233-1234）