The possibility of ultrasensitive detection of biomolecules using silicon nanowire biosensor with structural optimization (査読付)

今回我々はCOMSOL Multiphysicsの有限要素法を用いてシリコンナノワイヤー（SiNW）バイオセンサーの数値モデルを開発した。さまざまな幅、厚さ、不純物濃度、およびそれらの複合効果にわたるSiNWバイオセンサーのセンシング性能を探求し、これまで未開拓であった分野に取り組み、高感度と測定可能な電流の両方を示す最適な構造を予測し、超高感度生体分子検出を実現できる可能性を示した。    

Japanese Journal of Applied Physics